Effect of Diethylenetriamine Pentaacetate Pentapotassium on Chemical Mechanical Polishing of Cobalt in H2O2 Based Slurry
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Chemical Mechanical Polishing by Colloidal Silica Slurry
Chemical Mechanical Polishing is a unique process enabling technology that allows chip makers to readily drive lithographic patterning steps to smaller dimensions, an ages old, “retro” technology related to glass polishing and metallographic finishing, thus enabling optical lithography to work. It represents a situation that is a true paradigm shift from the typical way in which technological a...
متن کاملEffect of slurry composition on the chemical mechanical polishing of thin diamond films
Nanocrystalline diamond (NCD) thin films grown by chemical vapour deposition have an intrinsic surface roughness, which hinders the development and performance of the films' various applications. Traditional methods of diamond polishing are not effective on NCD thin films. Films either shatter due to the combination of wafer bow and high mechanical pressures or produce uneven surfaces, which ha...
متن کاملthe effect of genre-based teaching on reading comprehension of literary texts
تحقیق حاضر به بررسی کاربرد روش ژانر-محور را در محیط آموزش زبان عمومی می پردازد.روش ژانر-محور به زبان آموزان کمک میکند که در زمینه خوانش پیشرفت کنند. بعضی از محققین معتقد اند که روش تدریس ژانر-محور به تدریج به زبان آموزان کمک می کند تا در درک ژانر های مختلف مهارت یابند (هایلند 2004).همچنین امروزه توجه روز افزونی به اهمیت استفاده از ادبیات در برنامه آموزشی زبان انگلیسی (esl/efl ) شده است. زمانی ک...
15 صفحه اولthe washback effect of discretepoint vs. integrative tests on the retention of content in knowledge tests
در این پایان نامه تاثیر دو نوع تست جزیی نگر و کلی نگر بر به یادسپاری محتوا ارزیابی شده که نتایج نشان دهندهکارایی تستهای کلی نگر بیشتر از سایر آزمونها است
15 صفحه اولEffect of Chemical Additive on Fixed Abrasive Polishing of LBO Crystal with Non-water Based Slurry
Non-water based fixed abrasive polishing was adopted to manufacture LBO crystal for nano precision surface quality because of its deliquescent. Ethyl alcohol was selected as the non-water based slurry solvent and ethanediamine, lactic acid, hydrogen peroxide was added in the slurry as a chemical additive, respectively. Effect of different additives with non-water based slurry on material remova...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: ECS Journal of Solid State Science and Technology
سال: 2019
ISSN: 2162-8769,2162-8777
DOI: 10.1149/2.0291905jss